一、清華大學(xué)IC裝備超精密機(jī)械及測控研究室介紹

清華大學(xué)朱煜教授帶領(lǐng)的國家重點領(lǐng)域“IC裝備精密機(jī)械與測控”創(chuàng)新團(tuán)隊(簡稱IC裝備團(tuán)隊)，核心團(tuán)隊包括11名教師、20多名在讀博士/碩士研究生、30多名工程師。IC裝備團(tuán)隊負(fù)責(zé)人朱煜教授現(xiàn)為機(jī)電所所長，入選國家“萬人計劃”首批科技創(chuàng)新領(lǐng)軍人才，是02國家重大專項總體專家組副組長。IC團(tuán)隊圍繞IC制造裝備國家重大戰(zhàn)略需求，針對光刻機(jī)工件臺納米級運動精度的技術(shù)目標(biāo)，開展了超精密機(jī)械、測量、控制以及系統(tǒng)集成的協(xié)同創(chuàng)新研究，在基礎(chǔ)理論、重大技術(shù)攻關(guān)及研發(fā)方面取得優(yōu)秀成果，對相關(guān)領(lǐng)域與產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生重要影響。2004年研制成功國內(nèi)首臺10nm精度同步掃描氣浮運動試驗系統(tǒng)；2008年研制出實現(xiàn)±2nm定位精度微動臺；2009年承擔(dān)02國家科技重大專項雙工件臺項目；2011年研制成功我國第一臺光刻機(jī)雙工件臺樣機(jī)；2015年承擔(dān)的02專項項目完成全部考核指標(biāo)，該項目的完成標(biāo)志著我國成為世界上少數(shù)可以研制光刻機(jī)雙工件臺這一超精密機(jī)械與測控技術(shù)領(lǐng)域最尖端系統(tǒng)的國家。IC團(tuán)隊重視基礎(chǔ)理論和關(guān)鍵技術(shù)研究，著重培養(yǎng)超精密動力學(xué)系統(tǒng)與控制、納米精度工程與測控技術(shù)、IC制造裝備精密機(jī)電系統(tǒng)方面的領(lǐng)軍人物和高端專業(yè)技術(shù)人才，提供先進(jìn)的科研平臺和教學(xué)實踐基地。

二、研究領(lǐng)域

研究室與北京華卓精科科技股份有限公司聯(lián)合承擔(dān)國家02重大專項，研制高端光刻機(jī)雙工件臺超精密平面光柵位置系統(tǒng)和用于制造大尺寸全息平面光柵的掃描干涉光刻系統(tǒng)。

對于高端光刻機(jī)雙工件臺超精密平面光柵位置測量系統(tǒng)，主要開展超精密平面光柵讀數(shù)頭研制、高速高分辨率電子相位卡研制、平面光柵位置測量系統(tǒng)精度理論研究，突破相應(yīng)的關(guān)鍵技術(shù)，為高端光刻機(jī)雙工件臺平面光柵位置測量系統(tǒng)產(chǎn)品設(shè)計提供支撐。

對于掃描干涉光刻系統(tǒng)，主要開展光學(xué)自動對準(zhǔn)/波前測量/周期測量/條紋鎖定等分系統(tǒng)的研制、掃描干涉光刻系統(tǒng)精度理論研究，突破相應(yīng)的關(guān)鍵技術(shù)，為掃描干涉光刻系統(tǒng)產(chǎn)品設(shè)計提供支撐。

現(xiàn)面向海、內(nèi)外公開招聘優(yōu)秀博士后3名。

三、崗位要求

（1）三年內(nèi)獲得或近期即將獲得光學(xué)工程/精密機(jī)械/應(yīng)用物理/自動化/電子/控制工程等相關(guān)領(lǐng)域的博士學(xué)位；

（2）具有強(qiáng)烈的科學(xué)研究興趣，良好的專業(yè)素質(zhì)，以及較強(qiáng)的實驗設(shè)計和動手能力；

（3）具備較強(qiáng)的語言表達(dá)和溝通能力，責(zé)任心強(qiáng)，工作踏實主動，團(tuán)隊合作精神佳；

（4）具有光機(jī)電一體化多學(xué)科背景者優(yōu)先；

（5）擁有超精密光學(xué)干涉測量專業(yè)知識和研發(fā)經(jīng)歷者優(yōu)先。

四、崗位待遇

（1）享受清華大學(xué)博士后待遇（年薪10萬-15萬）和課題組津貼（每年至少2.4萬）；課題組將根據(jù)應(yīng)聘者的能力和業(yè)績發(fā)放額外獎金；

（2）享受清華大學(xué)博士后其他福利政策，包括學(xué)校參照校內(nèi)同級人員的標(biāo)準(zhǔn)為博士后繳納“五險一金”，享受教學(xué)、科研獎勵政策及子女可在附屬學(xué)校、幼兒園入學(xué)、入托等；

（3）博士后進(jìn)站后將獲得與課題相關(guān)的基礎(chǔ)研究訓(xùn)練，協(xié)助PI開展課題研究，提供海外學(xué)術(shù)交流機(jī)會，相對獨立地承擔(dān)相關(guān)科研工作，協(xié)助指導(dǎo)研究生，參與申請科研經(jīng)費及管理。

五、項目資助

鼓勵并推薦博士后申報各類博士后資助項目，獲批者同時享受項目資助經(jīng)費，項目資助情況如下：

（1）國家“博士后創(chuàng)新人才支持計劃”，國家給予兩年60萬元資助；

（2）清華大學(xué)博士后支持計劃：

①清華大學(xué)博士后支持計劃（海外），兩年60萬元人民幣/兩年40萬元人民幣/兩年20萬元人民幣；

②清華大學(xué)博士后支持計劃（國內(nèi)）：“博士后創(chuàng)新人才資助計劃”——兩年50萬元，“優(yōu)秀博士畢業(yè)生”——兩年30萬元。

（3）中國博士后科學(xué)基金項目。特別資助：15萬元；面上一等資助：8萬元；面上二等資助：5萬元；

（4）“博士后國際交流計劃學(xué)術(shù)交流項目”，給予每人3萬元資助。

六、聯(lián)系方式

凡符合招聘崗位要求且有意向者，請通過電子郵件（主題請注明“博士后申請”）發(fā)送個人簡歷和聯(lián)系方式等相關(guān)資料至：zm01@ic.me.tsinghua.edu.cn。如獲面試邀約，請攜帶個人簡歷、博士論文等相關(guān)資料。

為防止簡歷投遞丟失請抄送一份至：boshijob@126.com（郵件標(biāo)題格式：應(yīng)聘職位名稱+姓名+學(xué)歷+專業(yè)+中國博士人才網(wǎng)）